真空蝶閥是一種用于真空系統(tǒng)中的關(guān)鍵閥門，通過圓盤形蝶板旋轉(zhuǎn)實(shí)現(xiàn)啟閉，控制氣體流動(dòng)。其結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、體積小、重量輕，適用于高真空、低壓力環(huán)境，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、光伏、航天、科研等領(lǐng)域。

　　閥體材質(zhì)多為不銹鋼或鋁合金，確保高密封性與耐腐蝕性；密封圈采用氟橡膠、硅橡膠或金屬密封，適應(yīng)不同真空度（如10^-6Pa至常壓）。驅(qū)動(dòng)方式包括手動(dòng)、氣動(dòng)或電動(dòng)，滿足自動(dòng)化需求。

　　優(yōu)點(diǎn)包括快速啟閉、低流阻、長(zhǎng)壽命及易維護(hù)，但高壓差環(huán)境下可能受限。選型時(shí)需考慮真空度、介質(zhì)溫度及連接方式（法蘭或KF接口）。真空蝶閥是維持系統(tǒng)真空隔離與調(diào)節(jié)流量的高效解決方案。